Фабрика идей Микрона: технологии 3D-печати внедрены на участке химико-механической планаризации

«Производство микросхем – это сложнейшие, невидимые невооруженным глазом процессы, операции выполняются в основном в автоматическом режиме и регламентированы до нанометра. Тем не менее, инженерная инициатива и смекалка применима и у нас. В рамках «Фабрики идей» с 2019 года уже реализовано 27 инициатив по модернизации, сокращению затрат, оптимизации производственного процесса и повышения его эффективности, на стадии рассмотрения еще несколько проектов. Инициировать проект может каждый сотрудник предприятия», – сообщил Сергей Майоров, руководитель проекта «Фабрика идей», начальник отдела по финансовому контролю, сопровождению и отчётности АО «Микрон».

Оптимизация была проведена на участке химико-механической планаризации, где осуществляется контролируемое вскрытие слоёв на пластине. При проведении плановых технических работ на установке часть обрабатывающих пластину динамических головок снимается со шпинделя – вращающегося вала, которым производится полировка. При этом существует риск попадания химических продуктов суспензии непосредственно на вал, что может привести к засорению пневматических каналов и поломке установки. Инженеры Микрона придумали, как защитить шпиндель с использованием 3D-технологий. Была разработана и изготовлена оснастка из ABC пластика, которая крепится на шпиндель и защищает от загрязнения пневматические каналы, предотвращает выход из строя регуляторов давления и бережет дорогостоящее оборудование.

«Мы уже достаточно давно печатаем на 3D-принтере модели деталей, которые запланированы к изготовлению – это облегчает постановку задачи производителю и существенно упрощает процессы», – отметил Ярослав Меркурьев, соавтор инициативы, главный специалист по обслуживанию оборудования АО «Микрон».

«Для этого проекта была сделана пластиковая оснастка, которая защищает шпиндель, и тем самым мы за счет простого решения оптимизировали обслуживание технологического оборудования на участке ХМП», – сообщил Игорь Дьячков, соавтор инициативы, инженер по наладке и испытаниям оборудования АО «Микрон».

Фабрика идей – один из инструментов развития культуры инноваций на предприятии, реализуется на Микроне с 2019 года. Поддержка инициатив сотрудников направлена на поиск эффективных идей, применение лучших практик организации производства и обеспечения качества продукции, улучшение условий труда, снижение операционных затрат и издержек, экономию материалов, повышение производительности труда.